描述

Pfeiffer CMR361  模块

　　概述

Pfeiffer CMR361真空计模块是一款用于测量真空压力的压电式真空计。它采用先进的压电式传感器技术，具有高精度、高稳定性、体积小、重量轻等特点。该模块可以广泛应用于各种真空测量场合。

　　产品参数

测量范围：10^{-1}mbar至1000 mbar

精度：±2%FS

分辨率：0.1毫巴

更新率：10 Hz

电源电压：24 VDC

功耗：<5 W

环境条件：

工作温度：0°C至+50°C

存储温度：-20°C至+70°C

湿度：<90%RH，非冷凝

振动：5 g RMS

冲击：15 g

外壳防护等级：IP65

　　产品规格

模块尺寸：60 mm x 40 mm x 25 mm

模块重量：150 g

安装方式：DIN导轨安装

　　系列

CMR系列真空计模块是Pfeiffer公司推出的系列化产品，涵盖测量范围为10^{-4}mbar至1000 mbar的各种型号。该系列产品具有以下特点：

采用先进的压电式传感器技术

高精度、高稳定性、体积小、重量轻

广泛应用于各种真空测量场合

　　特征

高精度：精度可达±2%FS

高稳定性：零点漂移小，长期稳定性好

体积小、重量轻：方便安装

低功耗：<5 W

符合工业标准：CE、RoHS等

　　作用

Pfeiffer CMR361真空计模块主要用于测量真空压力，为真空系统提供压力控制和监控。

　　用途

该模块广泛应用于以下领域：

半导体制造

薄膜沉积

分析仪器

医疗设备

食品加工

其他

　　应用领域

真空系统

泄漏检测

气体分析

表面分析

过程控制