描述

Pfeiffer CMR361模块

　　概述

Pfeiffer CMR361模块是一款用于Pfeiffer真空泵的真空计模块。它可以测量真空腔体的压力，并将其转换为电信号输出。该模块可以安装在真空泵的控制面板上，与真空泵一起使用。

　　产品参数

测量范围：10^{-10}mbar至1000 mbar

精度：±2%

重复性：±1%

响应时间：<1 s

接口：RS-232

工作温度：0°C至+50°C

防护等级：IP54

　　产品规格

模块尺寸：120 mm x 60 mm x 30 mm

模块重量：0.5 kg

安装方式：面板安装

　　系列

CMR系列真空计模块是Pfeiffer公司推出的系列化产品，涵盖测量范围为10^{-13}mbar至1000 mbar的各种型号。该系列产品具有以下特点：

功能多样

性能可靠

易于安装

　　特征

测量范围宽：测量范围为10^{-10}mbar至1000 mbar，满足各种真空测量需求

精度高：精度为±2%，确保测量数据的准确性

重复性好：重复性为±1%，确保测量数据的稳定性

响应时间快：响应时间小于1 s，能够快速捕捉压力变化

接口丰富：支持RS-232接口，方便与其他设备连接

工作温度范围宽：工作温度范围为0°C至+50°C，可在恶劣环境中使用

防护等级高：防护等级为IP54，可在灰尘和潮湿的环境中使用

　　作用

Pfeiffer CMR361模块主要用于测量真空腔体的压力，并将其转换为电信号输出。

　　用途

该模块广泛应用于以下领域：

半导体制造

薄膜沉积

分析仪器

科研实验

其他

　　应用领域

扩散炉控制

溅射镀膜控制

质谱仪分析

真空干燥

泄漏检测

其他