描述

CMR 361 Pfeiffer模块

　　产品概述

CMR 361是Pfeiffer Vacuum公司生产的一款真空陶瓷电容压力计模块，用于测量真空腔室内的压力。它具有以下特点：

高精度：采用高精度的陶瓷电容传感器，测量精度高，可达±0.5%。

宽广的测量范围：可测量10^-1至10^5 mbar的压力范围。

快速响应：响应时间快，可快速捕捉压力变化。

高稳定性：测量信号稳定可靠，不受温度、振动等因素影响。

易用性：提供简单的安装和使用方式，易于使用和维护。

广泛的应用范围：可用于各种真空应用，例如半导体制造、分析仪器、真空镀膜等。

　　产品参数

型号：CMR 361

类型：真空陶瓷电容压力计模块

测量范围：10^-1至10^5 mbar

精度：±0.5%

分辨率：0.1%

响应时间：<5秒

输出信号：4-20 mA

电源：24 VDC

防护等级：IP67

工作温度：-40°C至70°C

存储温度：-40°C至85°C

震动：5 g（0.5 mm峰值至峰值）

冲击：30 g（11 ms）

连接方式：M12连接器

　　产品规格

尺寸：51 x 38 x 23 mm

重量：0.1千克

材质：铝合金

连接方式：M12连接器

　　产品系列

CMR 361属于CMR系列，该系列压力计模块具有以下特点：

完整的规格型号：可根据需要选择不同规格型号的压力计模块。

高性能：性能卓越，精度高，可靠性好。

易用性：提供简单的安装和使用方式，易于使用和维护。

广泛的应用范围：可用于各种真空应用，例如半导体制造、分析仪器、真空镀膜等。

　　产品特征

CMR 361具有以下特征：

高精度陶瓷电容传感器：确保测量结果的准确性和可靠性。

宽广的测量范围：满足各种真空应用需求。

快速响应时间：及时捕捉压力变化，实现精细控制。

高稳定性：测量信号稳定可靠，不受外界因素影响。

IP67防护等级：可在恶劣的环境中使用。

-40°C至70°C的工作温度：可在宽广的温度范围内工作。

　　产品作用

CMR 361可用于以下应用：

测量真空腔室内的压力：为真空系统提供准确的压力数据。

控制真空系统：根据压力数据控制真空泵、阀门等设备，维持真空度。

泄漏检测：监测真空腔室的泄漏情况，及时发现和排除泄漏。

工艺控制：在半导体制造、分析仪器、真空镀膜等工艺中，控制真空度以确保工艺质量。

　　产品用途

CMR 361广泛应用于以下行业：

半导体制造：晶圆制造、封装测试等。

分析仪器：光谱仪、质谱仪、电子显微镜等。

真空镀膜：光学镀膜、磁性材料镀膜、薄膜太阳能等。

实验室研究：真空物理、材料科学、化学工程等。

其他工业应用：食品加工、医药制造、航空航天等。

　　产品应用领域

CMR 361可应用于以下领域：

真空泵房：监测真空泵房的压力，控制真空泵的运行。

真空腔室：测量真空腔室内的压力，控制真空系统的运行。

泄漏测试系统：用于检测真空腔室、管道、阀门等的泄漏情况。

半导体制造设备：用于控制晶圆清洗、刻蚀、沉积等工艺的真空度。