描述
001-4130-03
产品说明：
001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是一款先进的晶圆对准控制器，用于半导体制造设备中的晶圆搬运和定位。它通过高精度的定位和校准技术，确保晶圆在光刻过程中的精确对准，从而提高半导体器件的制造质量和生产效率。
产品参数：
型号：001-4130-03
品牌：Brooks Automation
系列：VCE系列
控制精度：纳米级别的定位精度
工作温度范围：-40°C至85°C
产品规格：
该控制器具有快速响应时间，能够迅速调整位置，适应高速的生产节奏，并在长时间运行下仍能保持高精度和稳定性。此外，它还具备高速的晶圆对准能力，对准时间可达1秒以内。
系列：
Brooks Automation 001-4130-03属于VCE系列。
特征：
该控制器具有以下特点：
高精度：提供精确的晶圆位置和角度控制。
高速度：实现高速的晶圆对准，对准时间可达1秒以内。
高稳定性：在长时间运行下仍能保持高精度和稳定性。
作用与用途：
Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作，通过高精度的定位和校准技术，确保晶圆在光刻过程中的精确对准，从而提高半导体器件的制造质量和生产效率。
应用领域：
该产品广泛应用于半导体制造设备中，特别是在晶圆搬运和定位方面，是半导体制造过程中不可或缺的关键组件。
001-4130-03
