产品说明

LAM 685-247270-001是一种等离子蚀刻室，用于实现高精度蚀刻。它在工业自动化领域中被广泛应用于高精度运动控制系统，如数控机床和机器人。

产品参数

高精度：能够实现高精度蚀刻。

高效率：具有高生产效率。

高抽速：能够快速达到所需的真空水平，抽速为50L/s。

产品规格

工作温度范围：-20°C至+70°C。

存储温度范围：-40°C至+85°C。

系列

该产品属于LAM公司的真空泵系列。

特征

高效率：该产品具有高效率的特点，适用于需要快速达到真空水平的应用场景。

高精度：适用于需要高精度蚀刻的工业应用。

作用与用途

LAM 685-247270-001主要用于气体分析、半导体行业的蚀刻工具和其他制造设备，以及工业自动化中的高精度运动控制系统。

应用领域

半导体行业：用于蚀刻工具和其他制造设备。

工业自动化：用于高精度运动控制系统，如数控机床和机器人。