产品说明
001-4130-03
BROOKS AUTOMATION 001-4130-03是一款晶圆搬运机械手控制器，主要用于半导体制造设备中的晶圆搬运和定位。它具有高精度定位和校准技术，确保晶圆的位置及方向准确，以满足后续工序的精确要求
产品参数
型号：001-4130-03
品牌：Brooks Automation
系列：VCE系列
控制精度：纳米级别的定位精度
工作温度范围：-40°C至85°C
防护等级：防震、防尘、防潮
产品规格
对准精度：X/Y:±2μm，θ:±0.1mrad
重复性：X/Y:0.5μm，θ:0.05mrad
扫描范围：X/Y:±20mm，θ:±5°
速度：X/Y:100mm/s，θ:10°/s
系列
属于Brooks Automation VCE系列
特征
高精度定位：采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现高精度晶圆对准。
多轴控制：可同时控制多个机器人轴，满足复杂操作需求。
动态响应：快速响应指令，确保快速和准确的定位动作。
反馈控制：利用传感器反馈信息，不断调整控制策略以保持定位精度。
高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，确保设备即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作
作用
Brooks Automation 001-4130-03晶圆对准控制器在半导体制造过程中起着至关重要的作用，主要用于精确对准晶圆，确保电路图案在硅片上的准确放置，从而提高半导体器件的制造质量和生产效率
用途
该控制器广泛应用于半导体制造过程的各个阶段，包括晶圆加工、传输、检测等环节。它可集成至各类半导体设备中使用，以实现高精度的晶圆对准和定位
应用领域
半导体制造：用于光刻过程中的晶圆对准操作。
精密工程：用于需要高精度定位和校准的工程领域
