产品说明

APEX3013是一种高性能射频电源，能够提供稳定的射频功率输出，适用于多种工业应用，如半导体制造和等离子体处理。它采用先进的技术，具有高效率、低噪声和高稳定性等优点。

产品参数

型号：APEX3013（0190-53914）

工作频率范围：2MHz-30MHz

输出功率：3000W

频率：13.56 MHz

输入电压：~208V

输出电压范围：0.5V至300V

产品规格

尺寸：15mm x 10mm x 1.3mm

工作温度：-40°C至+85°C

工作电压：1.9V至3.6V

系列

该产品属于Apex®系列射频电源，该系列包括多种型号，功率范围从1.5KW到5.5KW不等。

特征

高功率密度：能够在较小的体积内提供高功率输出。

引脚二极管匹配网络：能够在几个不同的阻抗区工作。

高精度与稳定性：提供非常稳定和精确的射频功率输出，对于半导体制造非常重要。

集成EMI滤波功能：减少电子噪声排放，适合电气和射频干扰问题的应用。

作用与用途

APEX3013射频电源主要用于产生固定频率的正弦波电压，广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏产业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热以及医疗美容等领域。

应用领域

该设备在工业领域中被广泛应用，特别是在半导体制造和平板显示器制造中，因其高功率密度和一致的电力输送而备受青睐。此外，它还适用于数据存储设备和太阳能电池的制造过程。