产品说明

AMAT 0090-07135是一款半导体电子分组卡，专为AMAT半导体设备而设计，提供可靠和高效的性能。它适用于各种半导体制造工艺，包括晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积和封装等。

产品参数

型号：0090-07135。

兼容性：适用于AMAT半导体设备。

处理器：英特尔酷睿2双核处理器，1.5 GHz。

内存：2GB DDR-400 ECC内存。

外形尺寸：符合先进TCA（ATCA）平台的标准。

产品规格

抽速率：高抽速率。

噪音和振动：低噪音和低振动。

寿命：长寿命。

腔体设计：密封性良好的处理腔，确保处理过程不受外界干扰。

系列

AMAT 0090-07135属于AMAT的蚀刻腔组件系列之一。此外，它可能也属于CVD系列或刻蚀系列。

特征

高精度控制：提供精确的气体流量、温度与压力控制，确保工艺稳定性。

可靠性高：设计和制造经过严格的质量控制，以确保长期稳定运行。

模块化设计：便于维护和升级。

作用与用途

AMAT 0090-07135主要用于控制半导体制造设备的运行参数，如温度、压力、真空度等。它为各种半导体制造工艺提供可靠和高效的性能，是半导体生产线上的重要设备之一。

应用领域

该产品广泛应用于半导体制造领域，包括晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积和封装等工艺。